无接触光学膜厚测量仪EA-160

无接触光学膜厚测量仪EA-160

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无接触光学膜厚测量仪EA-160

  • 产品详情
  • 产品参数

一、产品特点

   1、高速度、高精度测量系统;

   2、最大160mmx160mm范围自动测量;

   3、重复测量精度≤0.5um;

   4、适用高反光、高透光材质;

   5、数据重复测量的一致性;

   6、界面包含:向导式操作系统

                         放大倍数可调,结果更直观

                         测量数据生成报告,简洁明了

                         SPC数据收集系统

                         接入MES制造执行系统


二、技术优势

   1、采用白光共焦技术,分辨率达到5nm,最大量程13mm;

   2、0-160mm运动精度达到微米级,X、Y方向无机械接触,采用全闭环反馈系统,实现高精度测量;

   3、高精度、高分辨率CCD系统,结合effectek软体算法,支持影像定位辅助系统;


三、技术参数


四、应用领域

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本产品为厚膜丝网印刷机推荐配套产品,本司不做经营销售,如有需要请联系:18929339897



设备适用范围
适用于厚膜电路测量、晶圆涂胶测量、LTCC膜厚、线宽测量、MEMS测量、透明材质测量、太阳能面板测量